1) 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

2) 分析精密度高。

3) X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

4) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2-10秒就可以测完样品中的全部待测元素。

5) X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。

6) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

缺点

7）仪器采用电池供电，需每天充电。

8）只能测试Mg—Pu范围的元素。