准直器是由许多间距精密的平滑的薄金属片叠积而成,它分为初级准直器和次级准直器。初级准直器安装在样品和晶体之间,次级准直器安装在探测器的前面,初级准直器使样品发射出的X射线荧光通过准直器变成平行光束照射到晶体上,经晶体分光后再通过次级准直器准直后进入探测器,初级准直器对光谱仪分辨率起着重要作用。
准直器金属薄片的长度和间距决定了准直器允许射线发射的角度,即所谓的发散度。发散度α可由狭缝长度L(单位:mm)和片间距S(单位:mm)求得:α=tan-1(S/L)
由上式可知,缩小片间距可使发散度α减小,从而提高分辨率,但强度损失大。所以在分析轻元素时,要选用粗准直器。重金属谱线复杂且又互相接近,所以要选择细准直器提高分辨率。